최종 진공 테스트
목표:진공 펌프가 무부하 상태 (프로세스 시스템에서 분리) 에서 장기간 작동한 후 얻을 수 있는 최저 압력을 측정하기 위해서다.이것은 펌프의 펌프 용량의 핵심 지표입니다.
방법:펌프 의 입구 를 봉쇄 하고, 펌프를 가동 하고, 계속 작동 하도록 두십시오. (예를 들어, 2 시간 동안). 고 정밀 진공 지표 를 사용하여 출구 에서 도달 할 수 있는 안정적 인 최소 압력 을 모니터링 하고 기록 하십시오.
전형적인 데이터:궁극적 진공은 서로 다른 유형의 진공 펌프에 따라 크게 다릅니다. 예를 들어, 2 단계 회전 밸브 진공 펌프는 10−1 Pa 수준에 도달 할 수 있습니다.스루프 진공 펌프의 이상적 최후 진공 범위는 일반적으로 1×10−2 Pa와 1×10−3 Pa 사이입니다..
펌프 속도 테스트
목표:펌프의 출입구로 당 시간 단위당 당당 압력으로 빨려들인 가스 부피를 측정하기 위해, 펌프의 작동 효율을 반영합니다.
방법:알려진 부피의 표준 진공 챔버를 연결합니다. 대기 압력에서 특정 목표 압력 (예를 들어, 5 × 10 - 2 mbar) 으로 떨어지는 데 필요한 시간을 측정합니다.그리고 그 다음 평균 펌핑 속도를 계산.
전형적인 데이터:펌프 속도는 일반적으로 L/s 또는 m3/h로 표현됩니다. 예를 들어 펌프 모델의 명목 펌프 속도는 50 m3/h입니다.시험 요구 사항은 대기 압력에서 목표 압력까지 펌프로 떨어지는 시간이 15 분을 초과해서는 안 된다고 명시할 수 있습니다.펌프 속도 오차가 ±5% 이내
누출률 검사
목표:펌프 몸의 밀폐 성능과 연결을 검사하여 최종 진공의 안정성을 보장하기 위해 명백한 누수가 없도록 보장합니다.
방법:일반적으로 매우 민감한 헬륨 질량 분광량 누출 탐지기가 펌프 전체를 검사하는 데 사용됩니다. (예를 들어, 샤프트 끝, 끝 캡 및 플랜지와 같은 밀폐 부위).
전형적인 데이터:고성능 진공 펌프의 경우 전체 누출률 요구 사항은 매우 엄격합니다. 예를 들어 5 × 10−8 Pa·m3/s보다 낮아야합니다.
안정성 테스트
목표:진공 펌프가 연속 작동 또는 시뮬레이션 작업 조건에서 특정 진공 수준을 유지할 수 있는 능력을 평가하기 위해서다.
방법:펌프를 특정 압력으로 장기간 (예: 4시간 또는 168시간) 지속적으로 가동하고 진공 수준의 변동 범위를 모니터링한다.
전형적인 데이터:진공 수준 변동은 최소화되어야 합니다. 예를 들어 4시간 동안 5×10−2 mbar의 압력으로 연속적으로 작동할 때 진공 수준 변동은 ±1×10−3 mbar를 초과해서는 안 됩니다.